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高效过滤器检漏操作方法

发布日期：2021/6/7 9:34:29

在洁净室中，高效过滤器是完成高洁净度空气净化的要害设备。10万级以上洁净度等级的洁净室遍及采用高效过滤器(HEPA)，但高效过滤器装置后能否达到规划要求，在很大程度上取决于HEPA的装置质量。

　　意图：精确检测高效过滤器的质量，以避免高效过滤器走漏，影响出产。

　　办法：用尘土粒子计数嚣检测高效过滤器是否有泄漏现象。

　　检测前的准备工作：温度控制在18到26摄氏度之间，绝对湿度控制在45至65%之间，要挑选静态测验，室内测验职工不得多于2人。室内差别洁净度房间，静压差大于5Pa，洁净区与非洁净区之间静压差大于10Pa，对工艺历程中产尘量大的房间与其他房间应坚持绝对负压。

　　高效过滤器检漏的装置是空调系统和洁净室施工装置的要害，应留意以下几点：

　　高效过滤器对检漏的要求：

　　被检过滤器应检测过风量并在规划风量的80%~120%条件下运行。被检过滤器上游的粒子浓度被检过滤应满足下列要求：对受控粒径≥0.5μm的浓度，应不小于3.5x104pc/L对受控粒径≥0.5μm的浓度，应不小于3.5x104pc/L

　　检漏办法：

　　用粒子计数器对装置的接缝和主断面进行扫描检漏。检漏点应距离被检表面20~30mm。扫描的速度5~20mm/s，扫描检漏的部位为过滤器整个断面，封头胶，装置结构等处。扫描检漏用的粒子计数器的最小采样量应大于1L/min。

　　合格标准：

　　被检过滤器下流的粒子浓度换算成穿透率，高效过滤器不该大于出厂合格穿透率的两倍。

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