超高效过滤器特点
△采用全自动生产工艺，安全可靠，运行效果稳定；
△捕集率高，容尘量大；
△每一台ULPA出厂前都经过严格的检测。
用途
△超LSI制造工厂、半导体制造工厂、原子力研究中心、高洁净等级无尘室、层流设备等要求超高洁净度的场所。
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外形尺寸（mm）
宽*高*深
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额定风量m3/h
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容尘量（g）
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面风速m/s
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初阻力Pa
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终阻力Pa
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效率
0.1-0.2μm
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610*610*50
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470
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450
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0.35
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≤170
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400
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99.9995%
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610*610*70
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600
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650
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0.45
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610*610*90
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800
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800
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0.6
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915*610*50
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1750
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950
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0.35
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915*610*70
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900
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950
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0.45
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915*610*90
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1200
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1200
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0.6
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1170*570*70
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1300
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1300
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0.45
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